Jan 07, 2025 伝言を残す

炭化シリコンはどのように作られていますか?

炭化シリコンを生産する最も単純な方法は、高温での石炭などのシリカの砂と炭素を最大2,500度まで溶かすことです。炭化シリコンのより暗い、より一般的なバージョンには鉄と炭素の不純物が含まれることがよくありますが、純粋なSIC結晶は無色であり、炭化シリコンが摂氏2,700度で昇華している場合に形成されます。加熱後、これらの結晶は、lelyメソッドとして知られるプロセスで、より低い温度でグラファイトに堆積します。

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Lely Method:このプロセスでは、花崗岩のるつぼは、通常は誘導により非常に高温に加熱され、炭化シリコン粉末を昇華させます。低い温度グラファイトロッドは気体の混合物にあり、純粋な炭化シリコンが沈殿して結晶を形成することができます。

化学蒸気堆積:あるいは、製造業者は、炭素ベースの合成プロセスで一般的に使用され、半導体業界で使用される化学蒸気堆積を使用して立方体のsicを栽培しています。この方法では、ガスの特別な化学混合物が真空環境に導入され、基板に堆積する前に組み合わされます。
炭化シリコンのウェーハを生産する両方の方法は、成功するために膨大な量のエネルギー、機器、知識が必要です。

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