Feb 19, 2025 伝言を残す

窒化シリコンの生産方法

窒化シリコンセラミック製品の2つの生産方法があります。反応焼結とホットプレスです。反応的な焼結方法では、シリコンパウダーまたはシリコンパウダーと窒化シリコンパウダーの混合物は、セラミック製品の一般的な生産方法に従って形作られています。次に、ニトリッド炉では、混合物を1150〜1200度で前誘導して、ある程度の強度を達成します。この後、混合物を工作機械で機械加工し、さらに1350〜1450度で18〜36時間窒化するまで、窒化シリコンに完全に変換されるまでさらに窒化します。

 

 

この方法は、正確な寸法と安定した体積を持つ製品を生産します。熱い焼結方法には、19.6 MPa以上の圧力下で、1600〜1700度の温度で、少量の添加剤(MGO、Al2O3、Mgf2、Alf3、またはFe2O3など)で窒化シリコン粉末を圧縮して焼結させます。ホットプレス焼結によって得られた製品は、一般に、反応焼結によって得られたものよりも高い密度と優れた性能を持っています。

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